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Fluorescent Nanodiamond Scintillators for Beam Diagnostics of EUV and Soft X-ray in Photolithographic Applications

Yuen Yung Hui, Chen-Yu Ho, Teng-I. Yang, Tzu-Ping Huang,Bing-Ming Cheng,Yin-Yu Lee,Huan-Cheng Chang

RSC ADVANCES（2025）

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