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Atomistic Insights on P Implantation by Using Molecular Ion Beams for Scalable Spin-Qubit Arrays

Tomas Fernandez Bouvier,Ville Jantunen, Saana Vihuri,Alvaro Lopez Cazalilla,Flyura Djurabekova

JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS（2025）

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关键词
ions,implantation,silicon,simulation,qubits
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