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Characterisation of SiOX / SiNX Surface Passivation Using Time-of-Flight Elastic Recoil Detection Analysis

Matthew Wright,Matthew Sharpe, Callum McAleese, Yan Wang,Yifu Shi,Ruy S Bonilla

SiliconPV Conference Proceedings（2024）

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关键词
Hydrogen,ToF-ERDA,Passivation,Interfaces
AI 理解论文
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样例
生成溯源树，研究论文发展脉络
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