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Investigation of Composition and Origin of the Intermediate Layers at the Ga2O3/AlN and Ga2O3/Al2O3 Interfaces

Schowalter Marco, Raghuvansy S.,Karg A.,Vogt P., Schlom D.,Jena D.,Eickhoff M.,Rosenauer A.

BIO Web of Conferences（2024）

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关键词
composition determination,dft,ga2o3
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