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Improved Calibration Method Based on Phase-Slope Description in Phase-shift Deflectometry

Song Yang,Xianyong Zhu,Zhirui Cao,Jiali Zhao,Xiong Xiao, Zhiwei Yuan, Yuanheng Xu,Min Wang,Peng Wu

Optics Communications（2024）

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关键词
Phase-shift deflecometry,System calibration,Decoupling method,Optical metrology
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