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Microstructural Modifications Induced by He Implantation at Elevated Temperature in AlN

S. Jublot-Leclerc, G. Bouhali,C. Bachelet,F. Pallier,L. Largeau,A. Declemy,A. Gentils

Journal of the European Ceramic Society（2024）

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关键词

He implantation,AlN,Microstructure,Elastic strain,Temperature

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