注入机控制监测系统的无线数字化改造

HVE-400注入机是专用的低能加速器离子注入设备，主要用于半导体材料的硼磷参杂工艺。注入机的离子源及引出偏转系统处于高电位，而相应控制系统处于地电位，控制信号与高压端各参数的测量反馈信号需要在地电位与高电位之间通过光纤进行传输，以隔离高压。因光纤传输控制与监测系统年久老化不能稳定工作而进行升级改造。改造采用无线数字传输模式取代多路光纤传输，具有高压隔离功能；利用先进的分散集中控制方式代替原有的分散式单点控制方式，将所有的控制与监测功能集中到工控计算机上进行数字化操作与显示。计算机控制监测系统还设计了两种方式离子质量数软件计算功能。升级改造后，注入机高压平台控制与监测系统具有无线化、数字化、集中控制、操作简单方便等特点。