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Direct Growth of Highly Oriented GaN Thin Films on Silicon by Remote Plasma CVD

Lise Watrin,Francois Silva,Cyril Jadaud,Pavel Bulkin,Jean-Charles Vanel,Dominique Muller,Erik Johnson,Karim Ouaras,Pere Roca Cabarrocas

JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS（2024）

引用 2|浏览15

关键词

GaN,thin film,remote plasma,III-V,RP-CVD,growth process

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