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Oxygen-termination Effect on the Surface Energy Dissipation in Diamond MEMS

Keyun Gu,Zilong Zhang,Guo Chen,Jian Huang,Yasuo Koide,Satoshi Koizumi,Wen Zhao,Meiyong Liao

Carbon（2024）

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关键词

Single-crystal diamond,MEMS,Oxygen surface termination,Quality factor

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