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A Sensitivity-Enhanced Vertical-Resonant MEMS Electric Field Sensor Based on TGV Technology

Yahao Gao,Simin Peng,Xiangming Liu,Yufei Liu,Wei Zhang,Chunrong Peng,Shanhong Xia

Micromachines（2024）

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关键词
electric field sensor,MEMS,resonator,TGV technology
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