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Low‐Temperature ALD of SbO_x/Sb₂Te₃ Multilayers with Boosted Thermoelectric Performance (Small 10/2024)

Jun Yang,Samik Mukherjee,Sebastian Lehmann,Fabian Krahl,Xiaoyu Wang,Pavel Potapov,Axel Lubk,Tobias Ritschel,Jochen Geck,Kornelius Nielsch

Small（2024）

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