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Experimental Quantification of the Residual Stress of Thin Membrane Materials in MEMS Devices Using Point Deflection

Sofiane Soulimane,A. Pouydebasque,Sébastien Bolis, F. Jacquet,Claudine Bridoux,Florian Dupont,Christophe Poulain, S. Moreau,S. Fanget

Journal of Applied Science and Engineering（2014）

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