Влияние материала верхнего электрода на электрофизические свойства МДМ-структур на основе сегнетоэлектрических пленок
Fizika tverdogo tela(2023)
摘要
Сегнетоэлектрические пленки состава Ba 0.8 Sr 0.2 TiO 3 (BST) синтезированы на платинированные кремниевые подложки методом ВЧ-распыления. На выращенные пленки методом электронно-лучевого распыления сформированы верхние электроды из никеля, алюминия, меди и хрома. Представлены результаты исследований электрофизических свойств полученных гетероструктур металл--диэлектрик--металл (МДМ) (Ме-BST-Pt-Si). Ключевые слова: сегнетоэлектрические пленки BST, структуры металл--диэлектрик--металл (МДМ), микроструктура, электрофизические свойства.
更多查看译文
关键词
сегнетоэлектрических пленок,верхнего электрода на электрофизические
AI 理解论文
溯源树
样例
![](https://originalfileserver.aminer.cn/sys/aminer/pubs/mrt_preview.jpeg)
生成溯源树,研究论文发展脉络
Chat Paper
正在生成论文摘要