InGaAs单光子雪崩焦平面研究进展（特邀）

雪崩光电二极管（APD）是一种高灵敏度光电器件。按照工作电压的不同可分为线性APD和盖革APD。其中，盖革APD的工作电压高于击穿电压，利用半导体材料内部载流子的高雪崩增益可实现单光子级信号探测，也被称为单光子雪崩光电二极管（SPAD）。InGaAs材料SPAD在0.9~1.7 μm光谱范围内有高量子效率，是1.06、1.55 μm主动激光探测的理想探测器。通过将高效率InGaAs SPAD阵列芯片与CMOS计时/计数读出电路芯片集成封装，制备的雪崩焦平面探测器可对光子信号进行时间量化，在三维激光雷达、远距离激光通信、稀疏光子探测等领域有广泛应用。介绍了InGaAs单光子雪崩焦平面的器件结构及基本原理，在此基础上回顾了国内外雪崩焦平面技术的研究进展，并对未来发展方向进行了展望。