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Water-soluble bio-sourced resist interactions with fluorine plasmas in etch lithography process

Paule Durin,Corinne Gablin,Aziz Benamrouche,Samar Hajjar‐Garreau,Alexandre Teolis, Nicolas Rochat,Thomas Géhin,Stéphane Trombotto,Thierry Delair,Isabelle Servin,Raluca Tiron,Olha Sysova,Olivier Soppera,Emmanuelle Laurenceau,Jean Louis Leclercq,Yann Chevolot,Didier Léonard

HAL (Le Centre pour la Communication Scientifique Directe)（2022）

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关键词
fluorine plasmas,etch lithography process,water-soluble,bio-sourced
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