ポリイミド膜上(100)配向CWレーザ結晶化によるSi薄膜成長

佐々木伸夫, Muhammad Arif, 浦岡行治,後藤順, 杉本重人

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)（2020）

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