Оптические свойства пленок нитридов алюминия, кремния и нанокомпозитных покрытий Al–Si–N, осажденных реактивным магнетронным распылением
Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования（2021）
Key words
нитридов алюминия,осажденных
AI Read Science
Must-Reading Tree
Example
Generate MRT to find the research sequence of this paper
Chat Paper
Summary is being generated by the instructions you defined