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Arc Erosion Behavior of Cu/Ti3SiC2 Cathodes in C-C4f8 Gas As a Substitute for SF6 Gas

Zhuhan Liu,Yi Feng,Ningyuan Jiang,Zijue Zhou,Fei Wang,Xinchao Li,Miao Yu

Journal of Electronic Materials（2023）

引用 2|浏览7
关键词
c-C4F8 gas,Cu/Ti3SiC2,arc extinguishing,erosion mechanism
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