飞秒激光制备金属表面微纳结构及其技术应用
Laser & Optoelectronics Progress（2023）
Abstract
飞秒激光加工是近年来微纳加工领域中一种重要的加工方法.飞秒激光不仅能够对材料进行表面改性、烧蚀,更具有在特定区域加工高精度三维结构的独特优势,飞秒激光加工在微纳加工领域有着广阔的应用前景.本文主要阐述了飞秒激光与金属相互作用的一般过程,介绍了飞秒激光直写加工、飞秒激光诱导产生表面周期性结构、飞秒激光复合化学方法等表面微纳结构的制备方法.然后,分别从环境工程、航空航天以及生物医学领域阐述了飞秒激光在金属表面制备微纳结构的应用.最后,对当前飞秒激光制备微纳结构的不足和未来研究方向进行总结和展望.
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femtosecond laser,three-dimensional structures,micro/nano processing,surface micro/nano structure
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