激光损伤阈值自动测量装置及实验

CHEN Chao, YANG Bin,YU Dongyu,YIN Wanhong,GONG Jingzhu, LI Hui, WANG Nanxi, YANG Ke

Journal of Applied Optics（2023）

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摘要

设计并搭建了一套 1 064 nm、532 nm的双波长光学元件激光损伤阈值自动测量装置,用于光学元件膜层激光损伤阈值的自动化检测.装置主要由脉冲激光光源、光束参数诊断组件、损伤在线诊断组件、待测件扫描运动平台和控制系统组成.整个测量装置和测量过程由基于Labview编制的计算机综合测量软件自动控制,可实现损伤阈值在0.1 J/cm2～100 J/cm2 能量密度范围内的自动测量,并利用该装置对1064 nm增透膜和铝反射膜样品进行了测量,得到损伤阈值分别为27.09 J/cm2和3.21 J/cm2,相对不确定度分别为3.91%和5.61%.

关键词

damage threshold,automatic measurement device,laser-induced

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