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高性能硅基压力传感器产业技术研究

李永清,贾文博,方子硕,祝永锋, 滕文峰, 裴晓雷

China Science and Technology Achievements（2023）

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Abstract
本文介绍了高性能硅基压力传感器及压力敏感芯片在国内各典型应用领域的日益凸显的重要地位,分析了国内外技术发展现状及国内存在的主要差距,详细阐述了本研究开展的各项技术研究内容、突破的各项核心关键技术以及实现的技术创新点,总结分析了本研究成果的技术水平、社会经济意义及应用推广前景.
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