基于FR4的多自由度电磁式扫描光栅微镜结构设计
Journal of Telemetry,Tracking and Command（2023）
摘要
本文面向低成本、高可靠、便携式光谱分析检测设备的需要,提出了一种基于FR4(Flame Retardant,阻燃等级为UL94V-O的板材,4表示树脂为环氧树脂、增强材料为玻璃纤维布)复合材料的多自由度电磁驱动微型集成扫描光栅微镜新结构.通过多自由度结构设计,有效提升了微镜转动角度.建立了器件有限元仿真模型,开展了静力学、模态及谐响应分析.有限元分析结果表明:微镜能够在设定谐振模态下工作,其微镜与驱动线圈的位移比值为1.795,为大转角电磁式微型集成扫描光栅微镜设计提供了一种新方法.
更多关键词
Scanning mirror,MEMS,Electromagnetic actuation
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