洁净室压差控制研究综述

Zhang Shuhan,Liu Zehua,Liu Yingbo, Zhu Pengfei,Di Bin

Contamination Control & Air-Conditioning Technology（2023）

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摘要

就目前国内外洁净室压差控制的研究现状作一文献综述,重点介绍了影响洁净室内压差控制的三个因素及其控制策略.然后,结合文献的研究结论分析现有的洁净工程在调试以及运行中所发现的压差控制问题并加以讨论,确定了未来可能的研究内容.

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