超声振动辅助激光烧蚀铝表面形貌仿真分析
Journal of Optoelectronics·Laser（2023）
Abstract
为研究超声复合激光蚀除机理,本文使用COMSOL软件对超声振动辅助激光烧蚀金属铝表面烧蚀过程进行仿真,对比研究了超声振动对激光蚀除机理和过程的影响.研究发现,激光烧蚀的开始阶段主要以高温汽化来去除材料.随着烧蚀时间的增加,蚀除方式主要转变为熔融物飞溅蚀除,这对烧蚀凹坑的形成起主要作用.并研究了不同频率下激光蚀除材料的速度,研究发现,引入超声振动后,蚀除速度降低了 26.2％-39.43％.
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