刻蚀工艺参数对单晶硅太阳能电池性能影响
Journal of Xi'an University(Natural Science Edition)（2023）
摘要
以单晶硅太阳能电池刻蚀为研究对象,研究应用电子显微镜观察、电性能分析等方法,揭示不同刻蚀工艺参数下单晶硅片塔基的微观形态及电性能.结果表明:通过应用优质刻蚀添加剂,可使硅片塔基形状改善,电性能参数提高;添加剂初期时生产的电池片填充因子提高 1.029 9;高减重单晶硅太阳能电池片反射率相对较低.
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关键词
etching,monocrystalline silicon,process parameters,additive,solar cell
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