付加水素ガスによるアルゴン/窒素混合ガス中での高周波マグネトロンスパッタリングにより堆積した厚いc‐BN膜【Powered by NICT】Zhao Yan, Gao Wei, Xu Bo,Li Yingai,Li Hong-Dong, Gu Guang-Rui,Yin HongChinese Physics B(2016)引用 0|浏览0暂无评分关键词nict】AI 理解论文溯源树样例生成溯源树,研究论文发展脉络Chat Paper正在生成论文摘要