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Surface Leakage Behaviors of $2.6~\mu$ m In0.83Ga0.17As Photodetectors as a Function of Mesa Etching Depth

Yage Liu,Yingjie Ma,Xue Li,Yi Gu,Yonggang Zhang,Haimei Gong,Jiaxiong Fang

IEEE Journal of Quantum Electronics（2020）

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