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Ge-ion Implantation and Activation in (100) Β-Ga2o3 for Ohmic Contact Improvement Using Pulsed Rapid Thermal Annealing

Kornelius Tetzner,Andreas Thies,Palvan Seyidov,Ta-Shun Chou,Jana Rehm,Ina Ostermay,Zbigniew Galazka,Andreas Fiedler,Andreas Popp,Joachim Wuerfl,Oliver Hilt

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A（2023）

引用 5|浏览13

关键词

Field-Effect Transistors

AI 理解论文

溯源树

样例

生成溯源树，研究论文发展脉络

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