Наноструктурирование поверхности монокристалла KTP с помощью бомбардировки кластерными ионами
8th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects(2022)
Abstract
Рассмотрено формирование самоупорядоченных периодических наноструктур на поверхности титанил-фосфата калия (KTP) при бомбардировки кластерными ионами аргона. Проведено сравнение результатов бомбардировки кластерными ионами аргона с различной энергией, приходящейся на 1 атом кластера E/N mean – 12.5 и 110 эВ/атом. Продемонстрировано изменение рельефа поверхности с помощью атомно-силовой микроскопии (АСМ). Для определения периода наноструктур использовалась функция спектральной плотности мощности (power spectral density, PSD). Выявлены особенности бомбардировки поверхности монокристалла KTP при нормальном и наклонном падениях кластерных ионов.
MoreTranslated text
Key words
Electrical Properties,Secondary Ion Mass Spectrometry
AI Read Science
Must-Reading Tree
Example
![](https://originalfileserver.aminer.cn/sys/aminer/pubs/mrt_preview.jpeg)
Generate MRT to find the research sequence of this paper
Chat Paper
Summary is being generated by the instructions you defined