真空热处理炉绝缘陶瓷对钽粉杂质的影响

GUI Yu-ping,WANG Yan-jie, LI Shao-jun,LUO Guo-qing, MA Ying-hui, DU Wei

Heat Treatment Technology and Equipment（2023）

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摘要

主要研究了真空热处理炉绝缘陶瓷在投入使用前的一种适用性检测方法,并通过对比95氧化铝陶瓷、99氧化铝陶瓷、氮化硼陶瓷和氮化铝陶瓷杂质结果,分析了真空热处理炉绝缘陶瓷对钽粉杂质的影响.结果表明:95氧化铝陶瓷会造成钽粉Fe、Si杂质增加,氮化硼陶瓷会造成钽粉B、N杂质增加,而氮化铝陶瓷会造成钽粉A1、N、C杂质增加.99氧化铝陶瓷对钽粉杂质的影响最小,但在1100～1380℃温度范围内会导致钽粉Al杂质增加,可以通过减少炉内绝缘陶瓷的面积来降低Al杂质.

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