分离式调控的高精度光束指向稳定系统
Optics and Precision Engineering（2023）
摘要
光束指向稳定系统基于对光束位置和角度的控制,能够实现对光束指向的高精度主动控制,在微纳光刻及超分辨成像等领域中发挥着重要的作用.为了实现光束的长时间指向稳定,提出一种分离式调控的小型化光束指向稳定系统,消除了传统方案中双反射镜校正带来的耦合误差,大幅度提升了光束指向精度的控制性能.对比测试结果表明,基于该方法的光束指向稳定系统对光束位置的稳定精度(RMS值)可达0.3 μm,角度稳定精度(RMS值)达到1 μrad;施加一定幅度的主动扰动后的测试结果表明,该系统在较大的光源抖动下仍能保持同一量级的稳定精度.相比于同样测试条件下的两种商业化光束指向稳定系统,其位置抖动与角度抖动性能可提高50％以上.
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关键词
spatial alignment,error separation technology,laser,stabilization system,high-accuracy
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