970nm高功率光栅外腔可调谐半导体激光器

宽条形半导体激光器广泛应用于激光泵浦、激光加工等领域.针对宽条型半导体激光器输出光谱宽、调谐范围小的问题,采用衍射效率分别为28％和55％的反射式衍射光栅作为反馈元件构建了宽条形970 nm波长光栅外腔半导体激光器.研究了Littrow结构激光器参数对其性能(调谐范围、功率、阈值电流、线宽)的影响.实验结果表明,通过结构优化可得到窄线宽可调谐激光输出,适当地提高温度和使用较高衍射效率的光栅可增加激光器调谐范围,并且较高衍射效率的光栅可降低激光器的阈值电流.基于S偏振入射方式的光栅外腔激光器最大可实现27.87 nm的波长调谐范围,光谱线宽压窄至0.2 nm,输出功率可达1.11 W.