一种宽动态范围的在线式微波功率检测系统

设计了一种具有宽动态范围的在线式MEMS微波功率检测系统,建立了 MEMS悬臂梁的等效模型,对MEMS悬臂梁结构进行了过载功率的理论研究,得到过载功率与梁尺寸的关系.并基于此关系设计了不同尺寸的MEMS梁,以提高系统的功率检测上限,从而提高在线式微波功率检测系统的动态范围.根据系统的结构参数,得到系统理论动态范围为0～8.41 W.建立了微波功率检测系统的仿真模型,s参数仿真结果表明,在8～12 GHz下,系统的回波损耗为-37.61 dB至-46.15 dB,插入损耗为-0.28 dB至-0.16 dB.系统在具有较宽动态范围的同时兼具良好的微波特性.该研究对基于MEMS梁的微波功率检测系统设计具有一定的参考价值.