氮氩比对多弧离子镀TiAlSiN薄膜形貌和性能的影响

Materials Protection（2023）

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摘要

为了改善模具钢表面质量,采用多弧离子镀技术在H13模具钢表面沉积TiAlSiN薄膜,采用扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)等方法研究了不同氮氩比对薄膜表面形貌、硬度、结合力、耐腐蚀性能和抗氧化性的影响.结果表明:当氮氩比为8:2时,薄膜表面颗粒堆积较少,光滑平整,致密性好,此时薄膜膜基结合力达到最大值20.4 N.随着氮氩比的升高,样品经过高温氧化后,增重百分比呈下降趋势,当氮氩比为8:2时,增重百分比最低,具有最佳的高温抗氧化性能;并且此时薄膜的自腐蚀电流密度达到最小,为3.147×10-5A/cm2,薄膜的耐腐蚀性能最优.

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关键词

/Ar ratio,TiAlSiN film,multi-arc ion plating,corrosion resistance,oxidation resistance

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