Kr/Cl2混合气体介质阻挡放电多电流脉冲行为分析
Vacuum Electronics（2023）
摘要
222 nm远紫外具备杀菌消毒同时对人体无伤害的特质,KrCl*准分子灯经过特殊的光学滤波片能辐射出222 nm远紫外光,能有效地解决当前疫情下的传染防控需求.本文通过一维流体模型研究正弦驱动电压对Kr/Cl2介质阻挡放电中多电流脉冲行为,为维持KrCl*准分子灯稳定放电提供理论参考依据.结果表明,Kr/Cl2介质阻挡放电多电流脉冲放电受驱动电源的幅值和频率调控;随着电压幅值的增加,其电流脉冲个数会呈现先增后减的趋势,随着频率增长到105 Hz量级,其半周期内电流脉冲个数会保持在1个.
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