基于微机电系统(MEMS)的磁通门传感器研究进展

磁通门传感器是由电磁感应效应衍生出来的一类主动式感应变压器,能够感应到外界微弱的直流或低频磁场,因为它在噪声、温度稳定性、磁场分辨率和灵敏度方面的优势,被广泛应用在了定位跟踪、航空航天、地磁探测和电流检测等领域.但现在,各类设备都朝着小型化发展,对磁通门质量、体积、功耗、集成度有了更高的要求,所以磁通门传感器的微型化研究十分必要.微机电(Micro-electro-mechanical System,MEMS)加工为此提供了技术基础.简要分析了磁通门传感器的基本原理,阐述了微型磁通门传感器工艺技术的发展历史,包括微加工技术、PCB技术和MEMS技术.重点总结了MEMS磁通门结构工艺的发展历程以及MEMS正交磁通门发展状况.介绍了MEMS磁通门在相应场合的应用优势与发展状况,并展望了此领域未来的研究重点.