基于SnSe2.37薄膜材料的高性能近红外光电探测器
Semiconductor Technology(2023)
Abstract
二维材料二硒化锡(SnSe2)具有高迁移率、高光吸收率和窄带隙的特点,被视为近红外(NIR)光电探测器的候选材料.然而SnSe2在制备和生长的过程中会产生一定数量的硒空位,对SnSe2近红外光电探测器的性能造成不利的影响.首先采用化学气相输运(CVT)法制备硒过量的二硒化锡(SnSe2.37)单晶,X射线光电子能谱(XPS)结果表明,Sn和Se的原子数比约为1∶2.37.然后通过机械剥离法从高品质的单晶上分离出横向尺寸为14 μm×37 μm且厚度为2 nm的SnSe2.37薄膜材料.最后使用光刻图形转移法制备高性能的NIR光电探测器.经过测试,该NIR光电探测器对850 nm的近红外光表现出优异的光电探测性能,其中响应度可达2 820 A·W-1,归一化探测率为1.02×1013 Jones,外量子效率为4.12×105%,响应时间为15 ms.
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