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Investigation of Comet-Shaped Defects in an EPI-InP Layer Grown on S-Doped and Fe-Doped InP Substrates

Lijie Liu,Youwen Zhao,Jingming Liu,Yingli Wang,Jun Wang, Xuechao Sha

Journal of Electronic Materials（2023）

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关键词
Fe-InP,comet defect,HRTEM,EDX,rich-indium
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