用于空间快速指向机构的轻量化反射镜研究

为了满足空间激光通信和激光雷达载荷中快速控制反射镜的使用需求,研制了一种轻量化SiC 反射镜.首先,根据指向机构的使用工况和动力学响应要求,对反射镜结构的安装形式以及轻量化进行了优化设计;其次,通过有限元仿真分析,计算出反射镜的动态特性和安装使用中的面形变化,模拟出镀膜应力对反射镜面形的影响;最后,结合镀膜应力的产生机理和作用方式,在反射镜光学加工阶段预制面形补偿,解决了反射镜镀膜中面形退化问题.测试结果表明,反射镜在装配过程中的面形变化均方根(RMS)≤0.005λ(λ 为波长,λ=632.8nm),反射镜安装后的最终面形变化 RMS 值为 0.019λ,可以满足系统使用的指标要求.该反射镜的结构设计与分析流程以及镀膜加工方法可以应用到其他类似反射镜的设计与加工过程.