V掺杂对类金刚石薄膜性能的影响

通过磁控溅射的方法,使用石墨靶、V靶复合拼接靶,以氩气作为辅助气体,成功制备了不同原子分数的V掺杂类金刚石薄膜.采用拉曼光谱仪、电子探针X射线显微分析仪、X射线光电子能谱仪、原子力显微镜、扫描电子显微镜、纳米压痕仪、薄膜应力仪、往复摩擦磨损试验机等设备研究了V掺杂对类金刚石薄膜微观结构、力学性能、摩擦学性能的影响.结果表明,V掺杂提高了类金刚石薄膜的力学性能,当薄膜中V的原子分数为54.28％时,薄膜的硬度和弹性模量分别为14.1 GPa和147.6 GPa.掺杂V后,薄膜中生成了V2O5,降低了薄膜的耐磨性能.这主要是因为V促进了sp3杂化C数量的增加,并且在摩擦过程中,薄膜中的sp3杂化C的数量进一步增加,导致其硬度升高,耐磨性能下降.