氧化硅膜对激光掺杂SE电极的保护性能研究
wf（2023）
摘要
SE激光选择性电极在制程中易对电池电极重掺区造成表面损伤,为防止后续工艺对其造成进一步的腐蚀,在硅表沉积一层氧化膜来达到保护效果.本文通过热氧与臭氧两种工艺制备氧化膜,并通过碱抛后损伤区的微观形貌以及电池电性能对比,得出热氧制氧化膜的致密性好,对损伤区可以起到较好的保护效果,保证了金属电极与硅基体低的串联电阻,电性能优越.
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