微纳米线距标准样片的研制与应用

为了精确控制线宽尺寸参数,研制了一套周期尺寸为100 nm～10μm的线距标准样片.首先,依据样片的应用进行了图形设计,分别采用电子束直写和投影光刻技术开发出线距标准样片,并对制备出的样片进行考核,考核参数包括线距尺寸、均匀性、稳定性.并与VLSI同等量值样片的质量参数进行了对比,以周期尺寸为100 nm的样片为例进行表征,研制的样片均匀性为1.8 nm,稳定性为0.6 nm,VLSI样片的均匀性为1.5 nm;并使用CD-SEM对样片进行了定值,整体不确定度为3.9 nm～23 nm(k=2).研制的线距样片不仅包括光栅结构,还包括格栅结构,可以对不同的测试设备进行现场校准.