一种氦源装置的设计与应用
Zhenkong Kexue yu Jishu Xuebao/Journal of Vacuum Science and Technology（2012）
摘要
针对被检对象不允许另行开设检漏接口的检测要求,设计了一套氦源控制释放装置系统.系统中,气路以手动和电动相结合的控制方式可实现调试与预置模式的快速转换；其中,电动控制采用冗余设计,提高了系统控制释放的可靠性；以监测氦源气室内压力的变化判断气体是否可靠释放,解决了直接测量容器内气体百帕级增压而带来的技术难度大的问题.整套系统控制释放可靠性高,成本低,体积小,使用方便,已多次被应用.
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关键词
Controlled release,Helium source device,Reliability,Testing requirements
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