极小流导分子流真空流导元件研究进展
wf（2022）
摘要
作为真空计量关键器件,真空流导元件在真空检漏及相关测量领域中发挥着重要的作用.在众多类型的流导元件中,分子流流导元件因其流导特性受到广泛的关注.概述了几种极小流导分子流真空流导元件的研究进展,包括阳极氧化多孔氧化铝、硅基微纳通道以及石墨烯分子流流导元件,介绍了它们的制作工艺及流导测试结果,各种极小流导真空流导元件的分子流压力上限均为105 Pa量级.极小流导的分子流真空流导元件可应用于非蒸散型吸气剂性能测试、真空泵抽速测试、真空室体积及密闭容器漏率测量.
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