3ω测试方法中电极宽度对热辐射影响
Shanghai Measurement and Testing（2022）
摘要
针对3ω导热系数测试方法中热辐射对测量结果的影响,利用有限元仿真手段,对线宽因素和热辐射效应关系进行了研究.结果显示,在仿真模型条件下,辐射热流量随电极线宽增大而增大,且曲线斜率以100μm为拐点有显著提升.分析表明:在100μm以上线宽范围,辐射强度对线宽尺寸较为敏感,减小线宽能够获得较明显的辐射抑制收益;在100μm范围,减小线宽对辐射的抑制作用相对弱化.研究结果能够为3ω电极设计提供参考,进一步提升方法测试准确性.
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