高时间分辨力瞬态热反射显微热成像装置
Journal of Astronautic Metrology and Measurement（2022）
Abstract
瞬态热反射显微热成像能够测量电子器件表面温度分布,兼具高时间分辨力和高空间分辨力,在GaN HEMT等大功率器件热测试中应用日益广泛.研发了瞬态热反射显微热成像装置,利用窄脉冲照明,捕捉特定短时间内被测器件表面的图像,实现瞬态热反射热成像,时间分辨力达到1μs.以微带电阻作为被测器件开展了瞬态测温实验,激励脉宽10μs,测试得到了不同时刻微带电阻上温度分布,可以观察到升温和降温过程的细节,温度上升和下降时间在(2～3)μs,有效验证了装置的时间分辨力性能.
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