单波长中红外穆勒矩阵椭偏仪的设计、定标与测试
Acta Optica Sinica（2022）
摘要
随着科学家对探测精度的要求不断提高,探测设备的偏振精度愈显重要.如何精确测量元件及系统的偏振特性以优化并提高设备的偏振测量精度是一个关键问题.设计并建立了一套中红外穆勒矩阵椭偏仪,在12.32 μm波长下,使用非线性拟合法和双旋转法对系统进行了定标和测试比对.结果表明,该椭偏仪的穆勒矩阵测量精度优于0.02;透、反射样品的重复测量精度分别为0.01和0.02.该研究可为中红外穆勒矩阵椭偏仪的设计和应用提供借鉴.
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