低噪声触针式表面粗糙度探测系统及测量不确定度分析
wf（2022）
Abstract
为了提升现有触针式表面粗糙度测量仪的计量能力,从降低仪器噪声水平的角度出发,研制了具有低噪声、无阿贝误差特性的触针式表面粗糙度探测系统.该系统采用样品扫描的方式进行接触测量,利用高精度电容传感器对触针的垂直运动进行实时测量,从而表征被测物的真实微观表面,实现了纳米尺度测量下的低噪声水平.系统使用校准触针式表面粗糙度测量仪的标准样板进行Ra测量和不确定度评估,结果表明:对Type C3标准样板测量的扩展不确定度U=2.8 nm(k=2).
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