超高品质氟化镁晶体微盘腔的制备与测试

超高品质回音壁晶体微腔在非线性光学、相干光通信以及微波光子学等领域具有广阔的应用前景。改善表面粗糙度以降低散射损耗是提升氟化镁晶体微盘腔品质因子的有效途径，本论文基于超精密机械加工法制备出亚纳米表面粗糙度的超光滑氟化镁晶体微盘腔，并且利用锥形光纤耦合结合腔内衰荡法测得氟化镁晶体微盘腔在1550nm波段品质因子Q值达到1.2×109，有助于推动我国超高品质回音壁晶体微腔领域的研究发展。