硅基沟槽功率器件漏电检测及异常分析

Equipment for Electronic Products Manufacturing（2022）

引用 0|浏览3

暂无评分

摘要

为实现硅基沟槽功率器件的快速异常处理,采用了EMMI/FIB-SEM测试方法快速检测沟槽势垒肖特基二极管电性及结构失效,阐述了多晶硅淀积过程中异常导致的漏电分析过程及处理方法.

AI 理解论文

溯源树

样例

生成溯源树，研究论文发展脉络

Chat Paper

正在生成论文摘要